六氟化鎢 （WF6)
項(xiàng)目名稱(chēng) | 純度指標(biāo)（%） | |
六氟化鎢 | ≥99.999 | |
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雜質(zhì)含量（ppm)
| 二氧化碳（CO2） | ≤0.5 |
氮?dú)猓∟2） | ≤1 | |
氧氣+氬氣（O2+Ar） | ≤0.5 | |
一氧化碳（CO) | ≤0.5 | |
| 四氟化碳（CF4） | ≤0.5 | |
| 三氟化氮（NF3） | ≤0.5 | |
| 四氟化硅 (SiF4) | ≤0.5 | |
| 氟化氫（HF） | ≤5 | |
| 金屬離子（Metals) | ≤1.5 | |
包裝：采用40L、44L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶(hù)需要，分裝到4-10L的氣瓶中。
用途：在電子工業(yè)中作為金屬鎢化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝的原材料，特別是用它制成的WSi2可用作大規(guī)模集成電路(LSI)中的配線(xiàn)材料。通過(guò)混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的復(fù)合涂層，可用于X-射線(xiàn)的發(fā)射電極。此外，WF6在電子行業(yè)中還主要用作半導(dǎo)體電極和導(dǎo)電漿糊等的原材料。
理化性質(zhì): 能與許多物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，遇潮濕、空氣或水分解，散發(fā)劇毒和有腐蝕性的氟化氫煙霧。腐蝕性很強(qiáng)，能侵蝕幾乎所有的金屬，能迅速腐蝕濕的玻璃。
注意事項(xiàng)：
一、泄漏應(yīng)急處理：迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū)，禁止無(wú)關(guān)人員進(jìn)入污染區(qū)，應(yīng)急處理人員戴正壓自給式呼吸器，穿廠商特別推薦的化學(xué)防護(hù)服(完全隔離)。在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(fā)(或擴(kuò)散)，但不要對(duì)泄漏物或泄漏點(diǎn)直接噴水。勿使水進(jìn)入包裝容器內(nèi)，抽排(室內(nèi))或強(qiáng)力通風(fēng)(室外)。漏氣容器不能再用，且要經(jīng)過(guò)技術(shù)處理以清除可能剩下的氣體。
二、防護(hù)措施：
1、呼吸系統(tǒng)防護(hù)：可能接觸毒物時(shí)，必須佩戴防毒面具。
2、眼睛防護(hù)：戴安全防護(hù)眼鏡。
3、身體防護(hù)：穿膠布防毒服。
4、手防護(hù)：戴防化學(xué)品手套。
三、急救措施
1、皮膚接觸：脫去污染的衣著，用流動(dòng)清水沖洗。在灼傷處涂敷氧化鎂甘油軟膏或稀氨水。就醫(yī)。
2、眼睛接觸：立即翻開(kāi)上下眼瞼，立即用大量流動(dòng)清水徹底沖洗至少15分鐘。就醫(yī)。
3、吸入：脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處。呼吸困難時(shí)給輸氧。呼吸停止時(shí)，立即進(jìn)行人工呼吸。立即就醫(yī)。
4、食入：誤服者用水漱口，飲牛奶或蛋清，立即就醫(yī)。
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