氨氣 （NH3)
項目名稱 | 純度指標(biāo)（%） | ||
| 氨氣 | ≥99.99999 | ≥99.999 | |
雜質(zhì)含量（ppm)
| 氮氣（N2） | ≤0.01 | ≤3 |
| 氧氣（O2） | ≤0.01 | ≤2 | |
碳氫化合物（THC） | ≤0.02 | - | |
| 水（H2O) | ≤0.06 | ≤1 | |
一氧化碳（CO)) | 0.01 | ≤1 | |
| 二氧化碳（CO2） | ≤0.05 | - | |
甲烷（CH4） | - | ≤3 | |
包裝：采用40L、44L、47L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要，分裝到8—10L的氣瓶中。
用途：用于晶圓清洗、在CVD過程中生成氮化硅或氮化鎵等薄膜
理化性質(zhì): 通常為無色有強烈刺激性氣味，常溫下加壓可液化，臨界溫度132.9℃，臨界壓力11.38MPa，常壓下冷卻到－33.35℃時液化。液氨揮發(fā)性很強，氣化時吸熱很大，在－77.75℃時凝固成無色結(jié)晶。氨極易溶于水，并放出熱量。氨的水溶液稱為氨水，呈弱堿性，易揮發(fā)。自燃點630℃，在空氣中遇火能爆炸。
常溫、常壓下在空氣中的爆炸極限為16％～28％（體積）。
注意事項：
1、工作時應(yīng)選用耐腐蝕的工作服、防堿手套、眼鏡、膠鞋、用硫酸銅或硫酸鋅防毒口罩，防毒口罩應(yīng)定期檢查，以防失效。
2、在使用氨水作業(yè)時，應(yīng)在作業(yè)者身旁放一盆清水，以防萬一；在氨水運輸過程中，應(yīng)隨身攜帶2~3只盛滿3%硼酸液的水壺，以備急救沖洗；配制一定濃度氨水時，應(yīng)戴上風(fēng)鏡；使用氨水時，作業(yè)者應(yīng)在上風(fēng)處，防止氨氣刺激面部；操作時要嚴(yán)禁用手揉擦眼睛，操作后洗凈雙手。
3、配備良好的通風(fēng)排氣設(shè)施、合適的防爆、滅火裝置。
4、工作場所禁止飲食、吸煙、禁止明火、火花。
5、應(yīng)急救援時，必須佩帶空氣呼吸器。
6、發(fā)生泄漏時，將泄漏鋼瓶的滲口朝上，防止液態(tài)氨溢出。
7、加強生產(chǎn)過程的密閉化和自動化，防止跑、冒、滴、漏。
8、使用、運輸和貯存時應(yīng)注意安全，防止容器破裂和冒氣。
9、現(xiàn)場安裝氨氣監(jiān)測儀及時報警發(fā)現(xiàn)。
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